東莞半導(dǎo)體廢氣用什么設(shè)備處理好？
2022-09-05(4771)次瀏覽
半導(dǎo)體指的是在常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的一種材料，主要應(yīng)用于集成電路、消費(fèi)電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明、大功率電源轉(zhuǎn)換等領(lǐng)域，在半導(dǎo)體工業(yè)加工的過程中將會(huì)有部分的氣體排出，那半導(dǎo)體工業(yè)的廢氣有毒嗎，怎么處理好?
半導(dǎo)體工業(yè)在加工的過程中會(huì)使用到光刻膠、蝕刻液、清洗劑、顯影劑等溶劑，而這些溶劑是含有大量的有機(jī)物成分，排放出來的廢氣含有HCl、氨、HF等危險(xiǎn)污染物，而主要處理的是具有揮發(fā)性的VOCs。VOCs污染物為有機(jī)化合物，在濃度較高且有火花或靜電情況下，極易發(fā)生閃爆現(xiàn)象。半導(dǎo)體在制造過程中一般的污染源包括顆粒污染物、金屬離子和化學(xué)物質(zhì)等，而這些都是屬于有害的污染物。
半導(dǎo)體廢氣處理方法根據(jù)工業(yè)廢氣成分進(jìn)行廢氣處理設(shè)備的選擇：
東莞噴淋塔：
東莞噴淋塔可分為酸液噴淋塔、堿液噴淋塔、循環(huán)水噴淋塔，因在進(jìn)行廢氣處理的過程中會(huì)涉及到酸堿等不同的污染物質(zhì)，設(shè)備會(huì)根據(jù)廢氣的性質(zhì)、采用的處理工藝將設(shè)備的材料劃分為東莞玻璃鋼噴淋塔、東莞pp噴淋塔、東莞不銹鋼噴淋塔。
東莞噴淋塔對各種腐蝕性氣體凈化處理效果明顯，能有效去除氯化氫氣體(HCl)、氟化氫氣體(HF)、氨氣(NH3)、硫酸霧(H2SO4)、鉻酸霧(CrO3)、氰氫酸氣體(HCN)、堿蒸氣(NaOH)、福爾馬林(HCHO)等水溶性氣體。東莞噴淋塔廢氣凈化效率高、操作管理簡單、使用壽命長，凈化處理后的酸堿廢氣排放達(dá)到國家排放標(biāo)準(zhǔn)。
東莞催化燃燒裝置：
東莞RCO催化燃燒設(shè)備的運(yùn)作原理是將有機(jī)廢氣通過過濾器過濾后，進(jìn)入設(shè)備的活性炭吸附模塊，對廢氣進(jìn)行吸附、濃縮，再借助催化劑燃燒的方式對吸附、濃縮后的廢氣進(jìn)行凈化處理，燃燒的過程為無焰燃燒，燃燒后的廢氣會(huì)轉(zhuǎn)化為二氧化碳和水。
在催化氧化爐內(nèi)被加熱到250～300℃的有機(jī)廢氣在貴金屬催化劑的作用下發(fā)生無焰燃燒，有機(jī)廢氣被氧化分解成二氧化碳和水，達(dá)到廢氣處理的目的，廢氣處理后的潔凈氣體經(jīng)煙囪達(dá)標(biāo)排放。燃燒后的熱空氣通過換熱器進(jìn)行降溫，降溫后的氣體部分排放，部分用于活性炭脫附再生以達(dá)到廢熱利用和節(jié)能的目的。
半導(dǎo)體工業(yè)廢氣是具有毒性的，不同的工業(yè)采用的工藝原材料不同，因此采用的廢氣處理設(shè)備以及工藝都是不一樣的，具體的解決方案可咨詢?nèi)f川環(huán)保工程師。
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